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中国科学院微电子研究所三年期 JBX 6300FS电子束光刻系统维修保养服务项目

稿件来源: 发布时间:2021-04-23

  一、项目名称 

  20210601-20240531 三年期 JBX 6300FS电子束光刻系统维修保养服务项目。 

  二、单一来源采购理由说明 

  为满足国家重大科技攻关项目中主要特征尺寸均在亚50纳米至亚10纳米的器件和电路研究的需求,微电子所引进了一套日本JEOL公司的JBX-6300FS纳米直写电子束光刻系统。该系统采用热场发射、100KV加速电压、最小电子束束斑为2~3纳米,极限加工能力为5~10纳米。由于该JBX 6300FS纳米电子束光刻系统是目前国际上精度最高的纳米加工技术装备,每年都需要进行电子光学系统的维护、保养和更换电子枪(即电子束发射源,俗称灯丝)。 

  JBX 6300FS纳米电子束光刻系统是非常精密的大型仪器设备,世界上仅有少数几家能够生产,而且所生产的纳米电子束光刻系统结构和配置都不一样,没有互换性,所有这些厂家的电子束光刻系统的维护、保养和更换电子枪的服务只能由原厂指定的专门维修服务公司承接,其它任何有能力生产电子束光刻系统的厂家也不可能承接别的厂家所生产的电子束光刻设备的维修业务,所以纳米直写电子束光刻系统的维护、保养和更换电子枪等服务项目只能采用单一来源采购方式。 

  JBX 6300FS纳米电子束光刻系统制造商为:JEOL Ltd.(日本电子),其在中国区销售与售后服务公司设在上海,服务公司名称:捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司。 

  三、该项目拟从捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司采购。 

  四、征求意见期限从2021425日至2021429日止。 

  本项目公示期为2021425日至2021429日。有关单位和个人如对公示内容有异议,请在202142917:00(北京时间)之前以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式反馈至中国科学院微电子研究所质量处,地址:北京朝阳区北土城西路3号,邮编:100029,联系电话:82995527 

  

 

                                                                                                                         中国科学院微电子研究所 

                                                                                                                                2021423

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